第三百九十六章 投影曝光[第1頁/共3頁]

在0.35微米工藝及之前，光刻機光學掩膜版的製作要求是非常高的。根基上和出產的晶片，是一對一全比例設想。

一個月五億美圓的違約金確切是高，但intel也要有這個膽量來收。

以技術先進為傲的尼康，竟然會頻頻失利在一個小小的中國企業麵前！這tm的不科學啊！

鶴田剛開端還不覺得然，在他的內心早就已經以為泛翰個人是砧板上的魚肉。那裡另有甚麼翻盤的機遇？

日本人費經心機弄到了防水光刻膠的技術，本來他們這個技術起碼是能夠吃一代光刻機冇題目的。汗青上，初期沉浸式光刻機體係也是利用防水光刻膠的靠近式光刻機，直到投影式光刻機成為支流防水光刻膠才退出了汗青舞台。

“納尼？”鶴田坐直了身材，目光猛的端莊了起來：“周桑這話是甚麼意義，51%已經是尼康持股的底線了，這個前提是不容會商的題目！”

如果冇有周碩的滋擾，從0.35微米工藝向0.25微米工藝過渡的光刻機，實在汗青上實際利用的是步進反覆投影暴光技術。..xstxt..

“周桑……這個檔案是真的？”鶴田張了張嘴，腦袋裡一團亂麻，隻能問出這麼冇有營養的題目了。

鶴田很想這麼號令一聲。如果讓泛翰個人這麼肆無顧忌的生長下去，說不定連摩爾定律都要被突破了。

“如何，尼康現在不想把我掃地出門了？”周碩低頭摳動手指甲，心不在焉的問道。

這類設想自有其好的一麵，對鏡頭精度要求低，體係龐大度低，以及成像質量高之類的長處。但也有其致命的缺點，0.35微米工藝根基上就是其經濟性的極限了。

鶴田的神采跟著他看完整個受權專利證書以後，就黑的彷彿一塊鍋底的黑炭了。任誰在看到自家破鈔巨資研收回來的技術。轉眼就被人給淘汰掉了，內心肯建都會恨不得把對方給咬死。

步進投影技術不但能擺脫對防水光刻膠的依靠。更首要的是隻要稍作優化，立即就又能把光刻機製程技術向前推動一個期間……

他自以為用了一其中國成語還是很值得歡暢的事情，得意的笑著笑著卻再也笑不下去了，因為劈麵的周碩臉上始終都是冷冰冰的一片。

這類技術說白了，就是彷彿平常用放大鏡堆積太陽光一樣。用棱鏡體係將光源從遠處投射到矽片上。如許顛末幾次聚焦、折射、再聚焦，終究投影到矽片上的圖形比掩膜版乃至能夠小上4倍。

“嗬嗬，是不是真的，尼康能夠本身求證一下。”周碩無所謂的聳了聳肩，輕鬆的笑道。

就彷彿挪動吞了用戶的月殘剩流量，絕大多數挪動收集用戶都不會說這不公道，即便不公道也要有這個本錢去和把持本錢構和啊！

掩膜版投射的鏡頭需求與矽片停止完整的打仗，打仗中乃至要抽成真空狀況。然後光源體係的鐳射打到掩膜版上，投影部分的光刻膠就會被蒸發掉。把如許的晶圓放到蝕刻機內裡，化學藥品就會將冇有覆蓋光刻膠的部分腐蝕掉，然後再把晶圓轉移到離子注入機長停止離子注入……